Le four de recuit rapide adopte un système de contrôle par micro-ordinateur avancé et un contrôle de température en boucle fermée PID, qui peut atteindre une précision de contrôle de température élevée et une uniformité de température, et peut être équipé d'une chambre à vide ou d'un gaz multicanal selon les exigences du processus de l'utilisateur.
Le four de recuit rapide utilise une lampe infrarouge halogène comme source de chaleur pour chauffer rapidement des plaquettes ou des matériaux à 300 degrés -1200 degrés grâce à une vitesse de chauffage plus rapide, éliminant ainsi certains défauts des plaquettes ou des matériaux et améliorant les performances du produit.
Le four de recuit rapide (équipement de traitement thermique des puces) est largement utilisé dans la production de plaquettes de circuits intégrés, de plaquettes de LED, de MEMS, de semi-conducteurs composés, de dispositifs de puissance et d'autres produits de puces, ainsi que dans l'alliage rapide par contact ohmique, le recuit d'implantation ionique, la croissance d'oxyde, la relaxation des contraintes dans la densification, la densification et d'autres processus. Le traitement thermique rapide est utilisé pour améliorer la structure cristalline et les propriétés photoélectriques, avec un indice technique élevé, un processus complexe et une forte spécificité.
Remplacement du matériel du four de recuit rapide
1. Remplacement de la lampe chauffante : la lampe chauffante dépasse sa durée de vie ou n'est pas brillante et doit être remplacée. La durée de vie de la lampe chauffante est de 3000 heures et sa durée de vie sera réduite à des températures élevées.
2. Remplacement de l'huile de la pompe à vide : pendant l'utilisation, veuillez observer la jauge d'huile à vide une fois par trimestre. Lorsque la jauge d'huile indique que le niveau d'huile est inférieur à 1/3, veuillez ajouter de l'huile de pompe à vide à plus de la moitié de la jauge d'huile.
3. Remplacement du thermocouple : lorsque la température est anormale ou endommagée, le thermocouple doit être remplacé. La durée de vie normale du thermocouple est de 3 mois et sa durée de vie est raccourcie par des facteurs environnementaux.
4. Remplacer le joint torique : lorsque la surface du joint torique est visiblement endommagée ou ne peut pas être scellée, le joint torique doit être remplacé. Sa durée de vie est affectée par les facteurs de force et de température externes.